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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体心片心片制造出厂在晶圆加工操作的过程中,选择硅烷完成硅本质生長,废气排放洗衣塔产生了高溶液浓度含硅废渣。废渣具有着pH动荡大(2-11)、硅浓度高的优势,中国传统操作方式 易现身硅垢不通困难。 废水处理方法材质及起源 污废水 大部分组成为: 融化性硅酸盐 :SiO₂酸度达1000-1500mg/L 磷酸/氢氧化物钠 :洗滌塔酸碱性洗滌液使用量 颗粒剂硅 :纳米技术级SiO₂固体 痕量砷 :材料沉淀物带 操作鑫霖环保程序 创新技术选取"两极采和+膜过滤程序+减压蒸馏晶粒"技术: 一层结合 :用CaO设定pH至4-5,导出硅酸钙水解,硅清除率60%。 三级中合 :加Na₂CO₃将pH升高至9,进一个步骤沉淀自己已用硅,并接用镁剂除砷。 超滤膜平台 :0.02μm卫浴陶瓷膜过滤程序納米级硅科粒,通量动态平衡在80LMH。 MVR挥发器 :精浓高盐电镀废水,沉淀出Na₂SO₄副企业产品,水造纸废水处理率超90%。 进而视觉效果 总硅从1500mg/L降到5mg/L之下 砷含碳量从0.8mg/L下降0.01mg/L 控制系统无积垢正常运行达到2年 第一年收售氢氧化钠钠结晶体约800吨

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