某半导体心片心片制造出厂在晶圆加工操作的过程中,选择硅烷完成硅本质生長,废气排放洗衣塔产生了高溶液浓度含硅废渣。废渣具有着pH动荡大(2-11)、硅浓度高的优势,中国传统操作方式 易现身硅垢不通困难。
废水处理方法材质及起源
污废水 大部分组成为:
融化性硅酸盐
:SiO₂酸度达1000-1500mg/L
磷酸/氢氧化物钠
:洗滌塔酸碱性洗滌液使用量
颗粒剂硅
:纳米技术级SiO₂固体
痕量砷
:材料沉淀物带
操作鑫霖环保程序
创新技术选取"两极采和+膜过滤程序+减压蒸馏晶粒"技术:
一层结合
:用CaO设定pH至4-5,导出硅酸钙水解,硅清除率60%。
三级中合
:加Na₂CO₃将pH升高至9,进一个步骤沉淀自己已用硅,并接用镁剂除砷。
超滤膜平台
:0.02μm卫浴陶瓷膜过滤程序納米级硅科粒,通量动态平衡在80LMH。
MVR挥发器
:精浓高盐电镀废水,沉淀出Na₂SO₄副企业产品,水造纸废水处理率超90%。
进而视觉效果
总硅从1500mg/L降到5mg/L之下
砷含碳量从0.8mg/L下降0.01mg/L
控制系统无积垢正常运行达到2年
第一年收售氢氧化钠钠结晶体约800吨