该晶圆产生加工厂坐落在华北沿海地区,大部分产生8屏幕尺寸半导体行业晶圆,日访问量废水处理方法废气在使用量上涨约800吨。致使产生期间中在使用广泛氢氧化钠采取晶圆蚀刻,造成废水处理方法中氟化物含量高达模型200-300mg/L,远超中国废气释放准则(10mg/L下面)。
废渣成分表及从何而来
工业废水包括出自于三大基本原则:
晶圆蚀刻工艺流程
:含高盐浓度氟化物(HF)、硝酸银及小量血本属
生物厂家镜面抛光(CMP)废污水
:含納米级硅顆粒、有机的络合剂
生产设备清洁废水处理方法
:含异丙醇、高锰酸盐指数等充分物
整理方法流量
适用"生物学石雕文化发展+混凝土石雕文化发展+深度1净化"一级治理软件系统:
考试内容一级治理
:添加氯化钙和氢钝化钙,构成氟化钙结晶,氟化物避开率达85%
两级治疗
:调用PAC(整合氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),除掉悬浊液态废弃物物
三阶段清理
:确认多物料净化器和活性氧炭离心分离,喷水氟化物质量浓度稳固在8mg/L下例
重要主设备还有:pH自动化可以调节操作系统、斜管沉淀出的池、板框隔膜压滤机(厌氧颗粒污泥甩干)。
结果英文使用效果
产品行驶几年监测系统数据报告体现:
氟化物平均的氨水浓度:7.2mg/L(如果低于的国家规范标准)
COD避开率:92%
淤泥含水分率:≤65%
年收旧氟化钙副商品约150吨,进行资源的化再生利用