某半导体设备厂在制作过程中 中在使用硝酸银系成像液，所产生较高浓度值含NOx废水解决方法，日解决量50吨。废水解决方法中含NO2-自由高达2000mg/L，且有效微量分析有机的光刻胶的成分，解决分值很大的。 2. 污水材质及原因 成像步骤电镀废水（最主要的污染破坏源） 晶圆洁净废水处理方法 的废气洗涤剂塔排出污水 3. 清理工艺设计具体步骤 进行"最高级硫化+多级生物技术加工"创新发展工艺流程： 臭氧杀菌空气氧化 ：借助嗅氧的高压发生器形成O3，将难可降解生产物工业制硝酸为小原子成分，还将NO2-腐蚀为NO3-。 生物技术膜的催化反应器（MBR） ： 第一次级：缺氧的症状坏境下加药系统甲醇充当碳源，提高反活性污泥的反应 第二名级：好氧生物学膜进的一步生物降解充分物 无机化学上的广度治疗 ：分为钛基铝层电极材料，可以通过电解抛光的功效撤底可分解多余的污渍。 4. 最中效率 NOx总氮降下来8mg/L下例 COD安全在30mg/L元 废液使用率达60% 操纵系统工作热耗操纵在3.5kWh/吨水，较过去施工工艺能源管理20%。